液體質(zhì)量流量控制器由智能定量積算儀和流量傳感器組成，流量表反饋給定量控制儀的脈沖或電流流量信號，當流量累計流量達到設定的數值（定量值），定量控制儀會(huì )給電磁閥門(mén)或泵一個(gè)開(kāi)關(guān)信號，已達到對閥門(mén)、泵的啟動(dòng)和關(guān)閉控制。液體質(zhì)量流量控制器實(shí)現對加料的自動(dòng)和手動(dòng)控制。液體質(zhì)量流量控制器精度高，操作簡(jiǎn)單，可現場(chǎng)校準。液體質(zhì)量流量控制器使用和維護簡(jiǎn)單，液體質(zhì)量流量控制器廣泛應用于于化工、食品、飼料行業(yè)的原料定量添加。

　　液體質(zhì)量流量控制器被設計用于要求對小流量液體進(jìn)行快速、控制的領(lǐng)域。液體質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。液體質(zhì)量流量控制器*的熱式測量系統提供的測量，同時(shí)液體溫度上升小于5度。的控制回路和一個(gè)壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體 進(jìn)行 快速、穩定的控制。液體質(zhì)量流量控制器同時(shí)也包括有一個(gè)液體質(zhì)量流量計，液體質(zhì)量流量控制器用于那些不需要進(jìn)行流量控制的場(chǎng)合。

　　液體質(zhì)量流量控制器被設計用于要求對液體快速、控制的半導體制造工藝。數字控制回路和一個(gè)壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時(shí)間小于1秒。潔凈空間內的裝配工藝和全金屬密封結構確保（高純度和泄漏完整性）。液體質(zhì)量流量控制器*的層流旁路和傳感器部件提供的測量，同時(shí)液體溫度僅上升5度，此外，液體質(zhì)量流量控制器的簡(jiǎn)單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸

　　液體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數

　　流量范圍 ：P2000i系列和D2000i系列液體流量控制器是以異丙醇（IPA）來(lái)標定的，在測量其它液體介質(zhì)時(shí)需要乘以一個(gè)校正系數，具體請參考表一

　　響應時(shí)間 ：P2000i系列 ：2s（ 設定點(diǎn)的2％之內 ）

　　D2000i系列：＜1s（ 流量的5％之內 ）

　　精度和線(xiàn)性 ：± 1％滿(mǎn)量程（P2000i系列）；±1％讀數（D2000i系列）

　　重復性 ：P2000i系列：＜±0.2％滿(mǎn)量程（任意連續溫度下）

　　D2000i系列：＜±0.2％讀數

　　量程比：P2000i系列：50：1（2％-100％滿(mǎn)量程）

　　D2000i系列：20：1（5％-100％滿(mǎn)量程）

　　大操作溫度 ：40℃（104℉）

　　大操作壓力：125PSIG

　　溫度系數 ：＜0.1％/℃

　　>設定點(diǎn)輸入/流量輸出信號 ：0-5VDC/0-5VDC（輸出流量信號時(shí)：需小2KΩ電阻）

　　供電電源 ：﹢15VDC±10％（電流消耗＜200mADC時(shí)）

　　泄露率 ：1х10 -9 atm.cc/s He

　　預熱時(shí)間：10分鐘（P2000i系列）；20分鐘（D2000i系列）

　　電氣連接 ：9針D型

　　入口/出口過(guò)程連接 ：1/8″Male VCR或1/8″Swagelok

　　控制閥 ：壓電式常開(kāi)

　　內置容積 ：＜0.71ml（P2000i系列）；＜1ml （D2000i系列）

　　重 量 ：≤ 0.68Kg

　　液體質(zhì)量流量控制器被測液體流經(jīng)傳感器時(shí)，傳感器內葉輪借助于液體的動(dòng)能而旋轉。此時(shí)，葉輪葉片使檢出裝置中的磁路磁阻發(fā)生周期性變化，因而在檢出線(xiàn)圈兩端就感應出頻率與流量成正比的電脈沖信號，經(jīng)放大器放大后遠傳輸出。